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上海鉅晶精密儀器制造有限公司

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產(chǎn)品詳細
攪拌提拉爐 1400度燒結(jié)爐 氣氛爐

攪拌提拉爐 1400度燒結(jié)爐 氣氛爐

產(chǎn)品型號:SGL

參考價格:-

產(chǎn)地:上海

發(fā)布時間:2025-5-2 11:23:45

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產(chǎn)品介紹:
應(yīng)用領(lǐng)域
攪拌提拉爐(Agitation/Lifting Furnace)是一種用于高溫材料合成、晶體生長和熔融處理的設(shè)備,主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

半導(dǎo)體行業(yè):
- 用于單晶硅(Si)、砷化鎵(GaAs)等半導(dǎo)體材料的晶體生長。
- 適用于CZ(直拉法)或FZ(浮區(qū)法)晶體生長工藝。
光伏產(chǎn)業(yè):
- 用于太陽能級多晶硅、單晶硅的提純與拉晶。
特種材料制備:
- 高溫合金、氧化物晶體(如藍寶石、YAG激光晶體)的熔融與結(jié)晶。
- 高純金屬(如高純鋁、鈦合金)的熔煉。
科研實驗:
- 新材料研發(fā)、高溫化學(xué)反應(yīng)、熔融態(tài)材料性能研究等。

技術(shù)特點
1.精密溫控系統(tǒng)
- 采用PID智能控溫,溫度穩(wěn)定性可達±0.5°C,滿足晶體生長的嚴(yán)格需求。
- 可選配紅外測溫或熱電偶多段控溫。
2. 攪拌與提拉機構(gòu)
- 機械/磁力攪拌:確保熔體均勻性,避免成分偏析。
- 伺服電機提拉:速度可調(diào)(0.1~50 mm/min),實現(xiàn)晶體勻速生長。
3. 高純材料爐膛
- 爐膛材質(zhì):高純石英、氧化鋁或石墨,耐高溫(1800°C)、抗腐蝕。
- 真空/惰性氣體保護:防止材料氧化(如Ar、N₂環(huán)境)。
4. 自動化與安全
- PLC或觸摸屏控制,預(yù)設(shè)工藝曲線,自動記錄數(shù)據(jù)。
- 安全聯(lián)鎖:超溫斷電、氣壓報警、應(yīng)急冷卻系統(tǒng)。
5. 模塊化設(shè)計
- 加熱系統(tǒng)、氣路、控制系統(tǒng)獨立模塊,便于維護與升級。
6. 能效優(yōu)化
- 多層隔熱設(shè)計,減少熱損耗;可選高頻感應(yīng)加熱,提升能效。

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